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双管滑动快速加热冷却炉

技术方案书

产品简介:

双管炉是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

特点

1.双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。

2.双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.

3.四通道质量流量计控制4路气体。

4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。

5.炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温.

主要技术参数

型号

炉管尺寸(mm

功率(KW

外形尺寸(mm

电压(V

HTF1100-10/40-L-LV-4M

Φ100×1800

3

D610×W490×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1100

加热元件

电阻丝

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

石英管外径Ø100mm,内径Ø90mm,长度1800mm

加热区长度

400mm

恒温区长度

200mm

炉体结构

卧式

滑轨长度

1200mm

滑动距离

340mm

滑动控制

由温度控制器自动控制移动,当程序完成,炉子按设定的速度滑动。

滑动速度

0-70 mm/s

温控系统

PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

测温方式

S型热电偶

控温精度

±1.0

升温速率

30℃/m(平均速率)

降温速度

60℃/m(平均速率)

真空度

1Pa

设备结构

产品结构

卧式

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

保温时仅需40%功率

控温系统

温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

控制方式:30PID程序控温

升降温速率

升温速率30/m(平均速率);降温速率60/m(平均速率);

真空系统

真空系统采用双级直联泵,极限真空度可达1Pa

滑动系统

滑轨长度1200 mm双滑轨采用镀Cr的钢管。

加热元件

电阻丝加热

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1、高温手套1

2、炉钩1

3、真空法兰一套

4、电源线1

5、炉堵4

6、密封圈8

随机资料

1、操作说明书1份;2、质保书1

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

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