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热压烧结炉的三个常见故障及其排除方法分析

更新时间:2023-06-02 13:24:21      点击次数:853

  热压烧结炉的三个常见故障及其排除方法:
  
  1、冷却水故障
  
  (1)烧结炉正常运行时,冷却水温度应控制在15℃至25℃之间。当冷却水温度超过25℃但低于30℃时,出水温度也会升高。为了确保硅片出口温度不超过40℃,此时必须增加冷却水的流量。当温度超过30℃时,必须立即通知上一工序,停止硅片流入烧结炉。
  
  (2)如果烧结炉正常工作时没有冷却水,设备将自动停止并触发报警。此时,移除入口和出口传送带上的硅片,并在设备PC上下载冷却过程。当有冷却水时,启动设备,取出炉中的硅片。然后按照正常加热步骤升高温度以恢复生产。
  
  (3)当烧结炉正常工作时,冷却水流量突然降低,设备将自动停止运行,并触发报警。此时,首先移除入口和出口传送带上的硅片,并在设备PC上下载冷却过程。
  
  2、电源故障
  
  烧结炉正常运行过程中突然停电,应立即打开电源控制柜,确认是外部停电还是内部停电。如果外部电源故障,应立即关闭主电源开关,并清除进出口传送带上的硅片。通电后,应从设备PC下载冷却过程,打开设备,取出炉内的硅片,然后按照正常启动加热步骤加热,恢复生产。
  
  3、压缩空气(CDA)故障
  
  当烧结炉正常工作时,压缩空气流量突然降低,设备将自动停止运行,并触发报警。此时,首先移除入口和出口传送带上的硅片,并在设备PC上下载冷却过程。可能的原因是流量计故障或入口压缩空气压力低。处理方法是更换流量计、减压阀或通知设备中心相关人员增加压缩空气压力。故障排除后,启动设备,取出炉内的硅片,然后按照正常加热步骤加热,恢复生产。

热压烧结炉

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