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使用小贴士:真空烧结炉的日常应急策略

发表时间:2021-11-01      点击次数:201

    真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。但是,在日常使用时,它的应急措施我们一定的了解!
  一、冷却水异常
  1、确认加热电源已停止。
  2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。
  3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。
  4、在高温时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。
  二、真空烧结炉压缩空气的停止
  1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。
  2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。
  三、停电
  1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
  2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。
  3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。
  四、加热电源掉电
  1、水压低,压力表报警。
  2、接地故障。
  3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。
  4、电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
  五、真空烧结炉真空室压力恶化
  1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。
  2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。
   

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