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谈谈真空烧结炉是怎样操作的?

发表时间:2021-03-05      点击次数:1336

  真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
  真空烧结炉是怎样操作的?
  1、中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满,水中不得有杂质。真空炉
  2、开动水泵,使其中频电源,真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常,并调整水压控制在规定值。
  3、检查真空泵电源系统,皮带盘皮带松紧,真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后,人工转动真空泵皮带盘,如无异常,可在关闭蝶阀的情况下,启动真空泵。
  4、检查真空炉体内情况,要求真空炉体内一级卫生,感应圈绝缘良好,密封真空胶带具有弹性,尺寸合格。
  5、检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。
  6、检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
  7、检查石墨坩埚,装炉配件是否齐全。
  8、在以上准备就绪后,接通电源,中频电源合闸,按中频启动规则,试启动变频,成功后停止变频,方可开炉。
  9、真空炉体上盖的观察、测温孔,每次开炉均需清洁处理,以便观察和测温。
  10、装炉时应根据不同烧结产品,采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘,不得随意更改。
  11、为了保持恒温,防止热辐射,发热坩埚上加二层碳纤维,再罩上隔热屏。
  12、垫好真空密封胶带。
  13、操作杠杆手把,转动真空炉顶盖与炉体密切重合,放下顶盖,并锁好固定螺母。
  14、徐徐打开蝶阀,抽炉体空气,至真空度达到规定值。
  15、在真空度达到规定要求后,开始启动变频,调整中频功率,按有关材质的烧结规定操作;升温、保温冷却。
  16、烧结完毕后,停止变频,按停止变频开关,逆变停止工作,断开中频电源分闸与断开电源总闸。
  17、从炉体观察孔观察炉膛发黑后,先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流,再接自来水继续冷却感应圈和炉体,停水泵。
  18、中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中,要注意操作安全,不要用手接触中频电柜。
  19、在烧结过程中,随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象,如发现异常现象,应立即报告有关人员处理。
  20、启动真空蝶阀应缓慢,否则会因抽气过急而冒油,带来不良后果。
  21、正确使用转动式麦氏真空计,否则会造成真空读数误差或因操作过急而使水银溢出造成公害。
  22、注意真空泵皮带盘安全运行。
  23、在垫真空密封胶带,盖炉体顶盖时,注意防止压手。
  24、凡在真空条件下,容易挥发影响真空卫生,造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器,不得入炉。
  25、凡产品加有成型剂(如油或石蜡),必须脱掉方可入炉烧结,否则会造成不良后果。
  26、全部烧结过程中,要注意水表压力范围和冷却水循环,以免发生事故。

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