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1700℃单温区三通道混气CVD系统
技术方案书
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产品简介：
CVD管式炉采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝纤维材料，能使样品加热到1700℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 ℃ 。
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主要技术参数
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型号
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炉管尺寸（mm）
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功率（KW）
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外形尺寸（mm）
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电压（V）
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HTF1700-6/30-LV-3F
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Φ60×1000
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5
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D610×W1220×H660
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220
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其它尺寸可根据客户需求定制
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最高温度
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≤1700℃（设计温度）
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工作温度
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≤1600℃（此温度为验收标准）
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加热区长度
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300mm
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恒温区长度
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150mm
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温区个数
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一个温区独立控制
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加热元件
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优质1700型硅钼棒
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炉壳结构
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双层壳体结构
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炉膛材质
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进口高纯氧化铝多晶体纤维
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炉管材质
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99刚玉管
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炉门结构
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翻盖开启式
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温控系统
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PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序
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测温方式
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B型热电偶
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控温精度
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±1.0℃
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升温速率
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推荐≤5℃/min，最快升温速率≤10℃/min
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降温速度
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700℃以上≤5℃/min
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真空度
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10Pa
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气体流量
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三路浮子量程分别为10-100 cc/min；16-160 cc/min；25-250 cc/min
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设备结构
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产品结构
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落地式，控制部分位于机台下方；
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炉壳结构
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双层炉壳，壳体间风扇制冷，可使炉体表面快速降温。
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节能效果
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★保温时仅需40%功率
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控温系统
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温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定；
温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅；
控制方式：30段PID程序控温 ；
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真空系统
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安装在移动架底部的机械泵，真空度达 10Pa.
真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.
数字真空表安装在一端的法兰上.
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混气系统
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三个浮子流量计(准确率4%FS)，能够检测到气体的流
三路浮子量程分别为
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
内部安装有一混气罐
有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上，可以检测气体压力及混合槽的压力。
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加热元件
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优质1700型硅钼棒，温场均匀，能耗低；
升温速率建议: 5℃/Min Max:10℃/Min
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保温及加热方式
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耐高温纤维及空气隔热；
加热方式为热辐射及自然对流；
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炉膛保温材料
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进口高纯氧化铝多晶体纤维，不易掉粉、寿命长且保温性能好。
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安全保护装置
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保险丝；
电热过电流保护装置；
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随机配件
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1、炉钩1把；
2、炉管1根；
3、真空法兰及进排气2套；
4、电源线3米（更长请自配）；
5、炉堵4只；
6、密封圈8只。
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随机资料
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1、操作说明书1份；
2、保固书1份。
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售后及服务
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服务保障
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产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可查；每台设备都有唯一的制造编号，并建立用户档案。
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12个月质保（相关易耗件除外）；终身成本价提供备品备件。
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质保期内，若设备发生故障，我公司在2小时内给予回复，并提供应急解决方案；重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。
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定期回访服务：提供定期电话回访或上门回访服务。
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我们免费提供软件的升级更新服务，使设备始终处于国内领先。
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交货期严格按合同约定执行；
如客户有特殊原因需提前交货的，我公司可特别组织生产，力争满足用户需求。
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包装运输
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木质包装箱包装，汽运至客户指定地点（限国内）；
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