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        产品介绍
        • 产品名称: 1500℃三温区四通道PECVD系统
        • 产品编号: 101
        • 上架时间: 2016-08-23
        • 浏览次数: 122

        1500三温区四通道PECVD系统

        技术方案书

        产品简介:

        这是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。

        主要技术参数

        型号

        炉管尺寸(mm

        功率(KW)

        外形尺寸(mm)

        电压(V)

        HTF1500-6/60-III-LV-4M

        Φ60×1500

        9

        D610×W1220×H660

        220

        其它尺寸可根据客户需求定制

        最高温度

        ≤1200℃

        工作温度

        ≤1100℃

        加热区长度

        三个温区长度:(600mm);温区1: 200mm;温区2: 200mm;温区3: 200 mm

        恒温区长度

        100/100/100mm(合计300mm)

        温区个数

        三个温区独立控制

        加热元件

        硅碳棒加热

        炉壳结构

        双层壳体结构

        炉膛材质

        进口高纯氧化铝多晶体纤维

        炉管材质

        高纯石英管

        炉门结构

        翻盖开启式

        温控系统

        PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

        测温方式

        S型热电偶

        控温精度

        ±1.0℃

        升温速率

        推荐≤5℃/min,最快升温速率≤10℃/min

        降温速度

        700℃以上≤5℃/min

        真空度

        1Pa

        气体流量

        MFC 1范围: 0~100 sccm;MFC 2和3: 0~200 sccm;MFC 4范围: 0~500 sccm

        设备结构

        产品结构

        落地式,控制部分位于机台下方;

        炉壳结构

        双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

        节能效果

        ★保温时仅需40%功率

        控温系统

        温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

        温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

        控制方式:30段PID程序控温 ;  

        真空系统

        安装在移动架底部的机械泵,真空度达 1Pa.

        真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.

        数字真空表安装在一端的法兰上. 

        混气系统

        四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.

        MFC 1范围: 0~100 sccm

        MFC 2和3: 0~200 sccm 

        MFC 4范围: 0~500 sccm

        一个混气罐,底部装有泄废液口.

        4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.

        进气口: 4个1/4NPS.

        出气口: 4个1/4NPS.

        采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

        等离子体射频电源

        输出功率: 5 -500W    ± 1% .

        射频频率: 13.56 MHz    ±0.005% .

        反射功率: 最大200W

        匹配:     自动

        射频接口: 50 Ω, N-type

        噪音:     <50 dB.

        冷却:     风冷.

        电源:     AC   208-240V, 50/60Hz

        加热元件

        优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;

        升温速率建议: 5℃/Min  Max:10℃/Min

        保温及加热方式

        耐高温纤维及空气隔热;

        加热方式为热辐射及自然对流;

        炉膛保温材料

        进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

        安全保护装置

        保险丝;

        电热过电流保护装置;

        随机配件

        1、炉钩1把;

        2、炉管1根;

        3、真空法兰及进排气2套;

        4、电源线3米(更长请自配);

        5、炉堵4只;

        6、密封圈8只。

        随机资料

        1、操作说明书1份;

        2、保固书1份。

        售后及服务

        服务保障

        产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

        12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

        质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

        定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

        我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

        交货期严格按合同约定执行;

        如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

        包装运输

        木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);