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        产品介绍
        • 产品名称: 1700℃三温区三通道混气高真空CVD系统
        • 产品编号: 97
        • 上架时间: 2016-08-22
        • 浏览次数: 94

        1700三温区三通道混气高真空CVD系统

        技术方案书

        产品简介:

        CVD管式炉采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝纤维材料,能使样品加热到1700℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 ℃ 。

        主要技术参数

        型号

        炉管尺寸(mm

        功率(KW)

        外形尺寸(mm)

        电压(V)

        HTF1700-8/60-III-HV-3M

        Φ80×1300

        3

        D610×W1220×H660

        220

        其它尺寸可根据客户需求定制

        最高温度

        ≤1700℃(设计温度)

        工作温度

        ≤1600℃(此温度为验收标准)

        加热区长度

        200/200/200mm(合计600mm)

        恒温区长度

        100/100/100mm(合计300mm)

        温区个数

        三个温区独立控制

        加热元件

        优质1700型硅钼棒

        炉壳结构

        双层壳体结构

        炉膛材质

        进口高纯氧化铝多晶体纤维

        炉管材质

        99刚玉管

        炉门结构

        翻盖开启式

        温控系统

        PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

        测温方式

        B型热电偶

        控温精度

        ±1.0℃

        升温速率

        推荐≤5℃/min,最快升温速率≤10℃/min

        降温速度

        700℃以上≤5℃/min

        真空度

        6.7x10-4Pa

        气体流量

        M 1范围:  0~100 sccm;M 2范围:  0~200 sccm;M 3范围:  0~200 sccm

        设备结构

        产品结构

        落地式,控制部分位于机台下方;

        炉壳结构

        双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

        节能效果

        ★保温时仅需40%功率

        控温系统

        温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

        温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

        控制方式:30段PID程序控温;

        真空系统

        安装在移动架底部的机械泵,真空度达 6.7x10-4Pa。

        真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接。数字真空表安装在一端的法兰上. 

        混气系统

        3路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.
        M 1范围:  0~100 sccm

        M 2范围:  0~200 sccm

        M 3范围:  0~200 sccm

        气路:3 路

        流量精度: 0.2%

        进气和出气接口: 1/4" 卡套

        每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  

        加热元件

        优质1700型硅钼棒,温场均匀,能耗低;

        升温速率建议: 5℃/Min  Max:10℃/Min

        保温及加热方式

        耐高温纤维及空气隔热;

        加热方式为热辐射及自然对流;

        炉膛保温材料

        进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

        安全保护装置

        保险丝;

        电热过电流保护装置;

        随机配件

        1、炉钩1把;

        2、炉管1根;

        3、真空法兰及进排气2套;

        4、电源线3米(更长请自配);

        5、炉堵4只;

        6、密封圈8只。

        随机资料

        1、操作说明书1份;

        2、保固书1份。

        售后及服务

        服务保障

        产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

        12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

        质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

        定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

        我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

        交货期严格按合同约定执行;

        如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

        包装运输

        木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);