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        产品介绍
        • 产品名称: 1400℃-1700℃单温区二通道混气CVD系统
        • 产品编号: HTL15
        • 上架时间: 2016-08-22
        • 浏览次数: 92

        产品名称:1400℃-1700℃单温区二通道混气CVD系统
          型   号:HTF-6/29-2F-LV

              规   格:详见产品简介

        产品简介:

            这是一款PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。

        产品规格:

         

        产品型号

        加热元件材质

        设备形式

        加热区
        mm

        恒温区
        mm

        混气系统

        真空度(Pa

        最高加热
        温度(

        常用工作
        温度(

        加热功率
        KW

        电压频率

        HTF-6/29-2F-LV

        硅钼棒/硅钼棒

        卧式

        290

        150

        2F

        0.1

        1700

        1600

        4

        220V/50HZ/60HZ

        HTF-8/29-2F-LV

        硅钼棒/硅钼棒

        卧式

        290

        150

        2F

        0.1

        1700

        1600

        4

        220V/50HZ/60HZ