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法兰及密封圈

高真空机组

简要描述:

高真空机组

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该系统采用 F100/110 分子泵作为主工作泵,采用 RVP-4 的机械泵作为分子泵前级泵,机械泵内部已配有隔断放气装置为非标准系统,它主要由连接管道, 110 分子泵 , 机械泵构成,通过标准配件连接 , 全部采用不锈钢材料,全部电抛光处理。系统设计有预抽功能。

一、技术参数:

1、环境温度 5~32

2、空气相对湿度 ≤85%

3、工作电电压: 220V±10%  50~60HZ

4、功率: 1KV

5、极限真空度: 1.0X10-4Pa

二、机组配置:

1、机械泵 抽气速率: 4L/S 容油量: 1.1L 电机功率: 400W 极限压强: 6×10-2Pa

2、分子泵 抽气速率: 100L/S 极限压强: 6×10-6Pa 启动时间:< 2min 额定转速: 4300 /   冷却方式:环境温度 5-32 ℃时,风冷; 5-40 ℃时,水冷。

3、分子泵控制部分 电压: 220V±22V 启动电流: ≤7A 输入频率: 47HZ—63HZ 最大输出功率: ≤150W 最大加速电压: ≤40V

4、 ZDF- Ⅲ复合真空计

工作电电压: 220V  50~60HZ

电阻规阻值:约 85 

自动保护(电离) >10Pa

电离规管测量范围: 100~1010-5Pa

电阻规管测量范围: 105  10-1 pa

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