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真空表及流量计

多路质量流量计供气系统

简要描述:

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一、产品介绍:

1 .气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端    连接真空泵,一端连接出气口。

2 .混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3 .每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。

4 .该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。

5 .所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

 

二、技术参数:

准确度: ±1.5% F.S

线性: ±0.5 1.5% F.S

重复精度: ±0.2% F.S

响应时间: 10S

气压降: <0.01MPa

最大压力: 3MP

工作环境温度: 5 45

输入输出信号: 0 +5.00V

电源: +15V 50mA -15V 50mA

量程: 5 10 20 30 50 100 200 300 500SCCM 等(量程可选)

气路通道: 2 3 4 5 (可选配)

气路流量控制:质子流量控制器。

口:  Φ6

示:  LED

工作环境温度 : 5~45

流量控制器:   质子流量控制器(详细技术参数请查看后面)

四氟管: Φ6 XΦ4

压力真空表   :- 0.1 0.15 MPa , 0.01 MPa/

阀: Φ6

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