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管式炉

1700℃三温区三通道混气高真空CVD系统

简要描述:

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1700 三温区三通道混气高真空CVD 系统

技术方案书

产品简介:

CVD管式炉采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝纤维材料,能使样品加热到1700℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 ℃ 。

主要技术参数

型号

炉管尺寸(mm

功率(KW)

外形尺寸(mm)

电压(V)

HTF1700-8/60-III-HV-3M

Φ80×1300

3

D610×W1220×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1700℃(设计温度)

工作温度

≤1600℃(此温度为验收标准)

加热区长度

200/200/200mm(合计600mm)

恒温区长度

100/100/100mm(合计300mm)

温区个数

三个温区独立控制

加热元件

优质1700型硅钼棒

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

99刚玉管

炉门结构

翻盖开启式

温控系统

PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

测温方式

B型热电偶

控温精度

±1.0℃

升温速率

推荐≤5℃/min,最快升温速率≤10℃/min

降温速度

700℃以上≤5℃/min

真空度

6.7x10-4Pa

气体流量

M 1范围:  0~100 sccm;M 2范围:  0~200 sccm;M 3范围:  0~200 sccm

设备结构

产品结构

落地式,控制部分位于机台下方;

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

★保温时仅需40%功率

控温系统

温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

控制方式:30段PID程序控温;

真空系统

安装在移动架底部的机械泵,真空度达 6.7x10-4Pa。

真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接。数字真空表安装在一端的法兰上. 

混气系统

3 路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制. M 1范围:  0~100 sccm

M 2范围:  0~200 sccm

M 3范围:  0~200 sccm

气路:3 路

流量精度: 0.2%

进气和出气接口: 1/4" 卡套

每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  

加热元件

优质1700型硅钼棒,温场均匀,能耗低;

升温速率建议: 5℃/Min  Max:10℃/Min

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;

加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1、炉钩1把;

2、炉管1根;

3、真空法兰及进排气2套;

4、电源线3米(更长请自配);

5、炉堵4只;

6、密封圈8只。

随机资料

1、操作说明书1份;

2、保固书1份。

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

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