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管式炉

1200℃二通道混气高真空CVD系统

简要描述:

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1200 二通道混气高真空CVD 系统

技术方案书

产品简介:

CVD 管式炉采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝纤维材料,能使样品加热到1200 。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25 接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 

主要技术参数

型号

炉管尺寸( mm

功率(KW

外形尺寸(mm

电压(V

HTF1100-6/40-HV-2M

Φ60×1000

3

D610×W1220×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1200

工作温度

≤1100

加热区长度

400mm

恒温区长度

200mm

加热元件

掺钼铁铬铝合金加热丝

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

高纯石英管

炉门结构

翻盖开启式

温控系统

PID 调节、自整定功能,并可编制30 段升降温程序

测温方式

K 型热电偶

控温精度

±1.0℃

升温速率

推荐≤5 /min ,最快升温速率≤10 /min

降温速度

700 以上≤5 /min

真空度

6.7x10-4Pa

气体流量

M 1 范围:  0~100 sccm ;M 2范围:  0~200 sccm;

设备结构

产品结构

落地式,控制部分位于机台下方;

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

保温时仅需40% 功率

控温系统

温度控制为模糊PID 微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

温度控制方式为P.I.D+S.S.R 可控硅;

控制方式:30 段PID程序控温 ;

真空系统

安装在移动架底部的机械泵,真空度达 6.7x10-4Pa.

真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.数字真空表安装在一端的法兰上.    

混气系统

M 1 范围:  0~100 sccm ;M 2范围:  0~200 sccm;

加热元件

优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;

升温速率建议: 5 /Min  Max:10 /Min

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;

加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1 、炉钩1 把;

2 、炉管1 根;

3 、真空法兰及进排气2 套;

4 、电源线3 米(更长请自配);

5 、炉堵4 只;

6 、密封圈8 只。

随机资料

1 、操作说明书1 份;

2 、保固书1 份。

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12 个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在2 小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

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