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管式炉

1200℃三温区三通道混气CVD系统

简要描述:

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1200 三温区三通道混气 CVD 系统

技术方案书

产品简介:

CVD 管式炉采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝纤维材料,能使样品加热到 1200 。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一 KF-25 接口,可以与机械泵相连接(抽速为 226L/m )。同时左法兰上安装有 φ6.35 的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供 30 段升温和降温程序,其控温精确度为 +/- 1   

主要技术参数

型号

炉管尺寸( mm

功率( KW

外形尺寸( mm

电压( V

HTF1100-8/88-III-LV-3F

Φ80×1300

9

D610×W1220×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1200

工作温度

≤1100

加热区长度

三个温区长度 : (880mm) ;温区 1: 220mm ;温区 2: 440mm ;温区 3: 220 mm

恒温区长度

100/200/100mm (合计 400mm

温区个数

三个温区独立控制

加热元件

掺钼铁铬铝合金加热丝

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

高纯石英管

炉门结构

翻盖开启式

温控系统

PID 调节、自整定功能,并可编制 30 段升降温程序

测温方式

K 型热电偶

控温精度

±1.0

升温速率

推荐 ≤5/min ,最快升温速率 ≤10/min

降温速度

700 ℃以上 ≤5/min

真空度

10Pa

气体流量

三路浮子量程分别为 10-100 cc/min16-160 cc/min25-250 cc/min

设备结构

产品结构

落地式,控制部分位于机台下方;

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

★保温时仅需 40% 功率

控温系统

温度控制为模糊 PID 微电脑自动演算 ,PV/SV 同时显示按键设定;

温度控制方式为 P.I.D+S.S.R 可控硅;

控制方式: 30PID 程序控温;

真空系统

安装在移动架底部的机械泵,真空度达  10Pa.

真空泵与手动挡板阀之间用 KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .

数字真空表安装在一端的法兰上

混气系统

三个浮子流量计 ( 准确率 4%FS) ,能够检测到气体的流          

三路浮子量程分别为

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

内部安装有一混气罐

有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力。

加热元件

优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;

升温速率建议 : 5/Min  Max:10/Min

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;

加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1 、炉钩 1 把;

2 、炉管 1 根;

3 、真空法兰及进排气 2 套;

4 、电源线 3 米(更长请自配);

5 、炉堵 4 只;

6 、密封圈 8 只。

随机资料

1 、操作说明书 1 份;

2 、保固书 1 份。

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12 个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在 2 小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障 72 小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

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