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实验炉

1500℃三温区四通道PECVD系统

简要描述:

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1500 三温区四通道PECVD 系统

技术方案书

产品简介:

这是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。

主要技术参数

型号

炉管尺寸(mm

功率(KW)

外形尺寸(mm)

电压(V)

HTF1500-6/60-III-LV-4M

Φ60×1500

9

D610×W1220×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1200℃

工作温度

≤1100℃

加热区长度

三个温区长度:(600mm);温区1: 200mm;温区2: 200mm;温区3: 200 mm

恒温区长度

100/100/100mm(合计300mm)

温区个数

三个温区独立控制

加热元件

硅碳棒加热

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

高纯石英管

炉门结构

翻盖开启式

温控系统

PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

测温方式

S型热电偶

控温精度

±1.0℃

升温速率

推荐≤5℃/min,最快升温速率≤10℃/min

降温速度

700℃以上≤5℃/min

真空度

1Pa

气体流量

MFC 1范围: 0~100 sccm;MFC 2和3: 0~200 sccm;MFC 4范围: 0~500 sccm

设备结构

产品结构

落地式,控制部分位于机台下方;

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

★保温时仅需40%功率

控温系统

温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

控制方式:30段PID程序控温 ;  

真空系统

安装在移动架底部的机械泵,真空度达 1Pa.

真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.

数字真空表安装在一端的法兰上. 

混气系统

四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.

MFC 1范围: 0~100 sccm

MFC 2和3: 0~200 sccm 

MFC 4范围: 0~500 sccm

一个混气罐,底部装有泄废液口.

4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.

进气口: 4个1/4NPS.

出气口: 4个1/4NPS.

采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

等离子体射频电源

输出功率: 5 -500W    ± 1% .

射频频率: 13.56 MHz    ±0.005% .

反射功率: 最大200W

匹配:     自动

射频接口: 50 Ω, N-type

噪音:     <50 dB.

冷却:     风冷.

电源:     AC   208-240V, 50/60Hz

加热元件

优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;

升温速率建议: 5℃/Min  Max:10℃/Min

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;

加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1、炉钩1把;

2、炉管1根;

3、真空法兰及进排气2套;

4、电源线3米(更长请自配);

5、炉堵4只;

6、密封圈8只。

随机资料

1、操作说明书1份;

2、保固书1份。

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

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