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可滑动RTP快速退火炉

技术方案书

产品简介:

这款RTP快速热处理炉以碘钨灯管为加热元件,采用双层壳体结构,30段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用高纯氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用石英管、两端用不锈钢法兰密封,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,可在真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛环境中使用,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、真空退火用的理想产品。

RTP 是一款可滑动的精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰,它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为50°C/. 30 段温度控制,精度为+/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线

主要技术参数

型号

炉管尺寸(mm

功率(KW

外形尺寸(mm

电压(V

HTF1100X-11/38-L-RTP

Φ110×780

9

D610×W490×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1100

加热元件

8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈Ø10mm,灯长300mm

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

石英管外径Ø110mm,内径Ø100mm

加热区长度

300mm

炉体结构

卧式

滑轨长度

1200mm

滑动距离

340mm

滑动控制

由温度控制器自动控制移动,当程序完成,炉子按设定的速度滑动。

滑动速度

0-70 mm/s

温控系统

PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

测温方式

S型热电偶

控温精度

±1.0

升温速率

RT-80050/s800-100010/s

降温速度

60/min(在200mtorr下),117/min(在一个大气压下)

真空度

1Pa

设备结构

产品结构

卧式

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

保温时仅需40%功率

控温系统

温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

控制方式:30PID程序控温

真空系统

真空系统采用双级直联泵,极限真空度可达1Pa

滑动系统

滑轨长度1200 mm双滑轨采用镀Cr的钢管。

加热元件

加热元件采用8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈Ø10mm,灯长300mm

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;

加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1、高温手套1

2、炉钩1

3、真空法兰一套

4、电源线1

5、炉堵4

6、密封圈8

随机资料

1、操作说明书1份;2、质保书1

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

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