产品展示
您现在的位置:产品展示 >> 实验炉 >> 管式炉 >> 1200℃三温区三通道混气CVD系统
  • 产品名称: 1200℃三温区三通道混气CVD系统

1200三温区三通道混气CVD系统

技术方案书

产品简介:

CVD管式炉采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝纤维材料,能使样品加热到1200。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1  

主要技术参数

型号

炉管尺寸(mm

功率(KW

外形尺寸(mm

电压(V

HTF1100-8/88-III-LV-3F

Φ80×1300

9

D610×W1220×H660

220

其它尺寸可根据客户需求定制

最高温度

≤1200

工作温度

≤1100

加热区长度

三个温区长度: (880mm);温区1: 220mm;温区2: 440mm;温区3: 220 mm

恒温区长度

100/200/100mm(合计400mm

温区个数

三个温区独立控制

加热元件

掺钼铁铬铝合金加热丝

炉壳结构

双层壳体结构

炉膛材质

进口高纯氧化铝多晶体纤维

炉管材质

高纯石英管

炉门结构

翻盖开启式

温控系统

PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序

测温方式

K型热电偶

控温精度

±1.0

升温速率

推荐≤5/min,最快升温速率≤10/min

降温速度

700℃以上≤5/min

真空度

10Pa

气体流量

三路浮子量程分别为10-100 cc/min16-160 cc/min25-250 cc/min

设备结构

产品结构

落地式,控制部分位于机台下方;

炉壳结构

双层炉壳,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

★保温时仅需40%功率

控温系统

温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定;

温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅;

控制方式:30PID程序控温;

真空系统

安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10Pa.

真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.

数字真空表安装在一端的法兰上

混气系统

三个浮子流量计(准确率4%FS),能够检测到气体的流          

三路浮子量程分别为

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

内部安装有一混气罐

有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力。

加热元件

优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;

升温速率建议: 5/Min  Max:10/Min

保温及加热方式

耐高温纤维及空气隔热;

加热方式为热辐射及自然对流;

炉膛保温材料

进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。

安全保护装置

保险丝;

电热过电流保护装置;

随机配件

1、炉钩1把;

2、炉管1根;

3、真空法兰及进排气2套;

4、电源线3米(更长请自配);

5、炉堵4只;

6、密封圈8只。

随机资料

1、操作说明书1份;

2、保固书1份。

售后及服务

服务保障

产品的制造和检测严格按相关标准执行,并有质量记录可查;每台设备都有唯一的制造编号,并建立用户档案。

12个月质保(相关易耗件除外);终身成本价提供备品备件。

质保期内,若设备发生故障,我公司在2小时内给予回复,并提供应急解决方案;重大设备故障72小时内安排专业人员上门服务。

定期回访服务:提供定期电话回访或上门回访服务。

我们免费提供软件的升级更新服务,使设备始终处于国内领先。

交货期严格按合同约定执行;

如客户有特殊原因需提前交货的,我公司可特别组织生产,力争满足用户需求。

包装运输

木质包装箱包装,汽运至客户指定地点(限国内);

a
在线留言
如果您对我们的产品需要了解更多或有什么好的建议,请给我们留下宝贵的信息!
 
产品名称:
*
标题:
 
留言人:
 
小于等于20个字符(包括A-Z、a-z、0-9、汉字、不含特殊字符)
您的邮箱:
*
示例:example@mail.com
联系电话:
 
小于等于32个字符(包含0-9、-、(、)、顿号)
公司名称:
 
留言内容:
* 已输入字符:0
小于等于500字符
验证码: