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  • 产品名称: 多路质量流量计供气系统

一、产品介绍:

1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端    连接真空泵,一端连接出气口。

2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。

4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。

5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

 

二、技术参数:

准确度:±1.5% F.S

线性:±0.51.5% F.S

重复精度:±0.2% F.S

响应时间:10S

气压降:<0.01MPa

最大压力:3MP

工作环境温度:545

输入输出信号:0+5.00V

电源:+15V 50mA -15V 50mA

量程:510203050100200300500SCCM等(量程可选)

气路通道:2345(可选配)

气路流量控制:质子流量控制器。

口: Φ6

示: LED

工作环境温度: 5~45

流量控制器: 质子流量控制器(详细技术参数请查看后面)

四氟管:Φ6XΦ4

压力真空表 :-0.10.15 MPa , 0.01 MPa/

阀:Φ6

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