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该系统采用F100/110分子泵作为主工作泵,采用RVP-4的机械泵作为分子泵前级泵,机械泵内部已配有隔断放气装置为非标准系统,它主要由连接管道,110分子泵,机械泵构成,通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,全部电抛光处理。系统设计有预抽功能。

一、技术参数:

1、环境温度5~32

2、空气相对湿度≤85%

3、工作电电压:220V±10%  50~60HZ

4、功率:1KV

5、极限真空度:1.0X10-4Pa

二、机组配置:

1、机械泵
抽气速率:4L/S
容油量:1.1L
电机功率:400W
极限压强:6×10-2Pa

2、分子泵
抽气速率:100L/S
极限压强:6×10-6Pa
启动时间:<2min
额定转速:4300/
冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

3、分子泵控制部分
电压:220V±22V
启动电流:≤7A
输入频率:47HZ—63HZ
最大输出功率:≤150W
最大加速电压:≤40V

4、ZDF-Ⅲ复合真空计

工作电电压:220V  50~60HZ

电阻规阻值:约85 

自动保护(电离)>10Pa

电离规管测量范围:100~1010-5Pa

电阻规管测量范围:105 10-1 pa

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