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  • 产品名称: 1200℃单温区二通道混气CVD系统

产品名称:1200℃单温区二通道混气CVD系统
  型   号:HTF1100-6/40-2F-LV

      规   格:详见产品简介

 

产品简介:

这是一款小型的PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。

产品规格:

 

编号

产品型号

加热元件材质

设备形式

加热区
mm

恒温区
mm

混气系统

真空度(Pa

最高加热
温度(℃)

常用工作
温度(℃)

加热功率
KW

电压频率

B1

HTF1100-6/40-2F-LV

电阻丝

卧式

400

150

2F

0.1

1200

1100

3

220V/50HZ/60HZ

B2

HTF1100-8/40-2F-LV

电阻丝

卧式

400

150

2F

0.1

1200

1100

3

220V/50HZ/60HZ

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